தூய்மைஅச்சிடப்பட்ட சர்க்யூட் போர்டுகள்(பிசிபிக்கள்) அவற்றின் கடத்தும் பண்புகள் மற்றும் சேவை வாழ்க்கையை நேரடியாக பாதிக்கிறது. "சுற்றுச்சூழல் - செயல்முறை - கண்டறிதல்" இன் முப்பரிமாண துப்புரவு முறையை உருவாக்க முழு செயல்முறையிலும் உற்பத்தி செயல்முறையை கட்டுப்படுத்த வேண்டும்.
ஒரு சுத்தமான சூழல் அடிப்படை உத்தரவாதம். உற்பத்தி பட்டறை வகுப்பு 1000 தூய்மைத் தரத்தை பூர்த்தி செய்ய வேண்டும், அதிக திறன் கொண்ட காற்று வடிகட்டி (ஹெப்ஏ) பொருத்தப்பட வேண்டும், ஒரு மணி நேரத்திற்கு 30 மடங்கு காற்றை மாற்ற வேண்டும், மேலும் தூசி துகள்களின் விட்டம் .50.5μm ஆகக் கட்டுப்படுத்த வேண்டும். மனித மாசுபடுத்திகளைத் தவிர்ப்பதற்காக ஊழியர்கள் நிலையான சுத்தமான உடைகள், கையுறைகள் மற்றும் முகமூடிகளை அணிந்துகொண்டு, ஏர் ஷவர் அறையில் தூசி அகற்றப்பட்ட பிறகு பட்டறைக்குள் நுழைய வேண்டும்.
முக்கிய செயல்முறைகளை துல்லியமாக சுத்தம் செய்தல். பொறித்தல் செயல்பாட்டில், அடி மூலக்கூறுகளை துவைக்க டீயோனைஸ் செய்யப்பட்ட நீர் (எதிர்ப்பு மதிப்பு ≥18MΩ) பயன்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் மேற்பரப்பு அசுத்தங்கள் ≤5mg/m² என்பதை உறுதிப்படுத்த பொறித்தல் மீதமுள்ள திரவத்தை அகற்ற மீயொலி துப்புரவு (அதிர்வெண் 40kHz) பயன்படுத்தப்படுகிறது. சாலிடர் மாஸ்க் லேயரை அச்சிடுவதற்கு முன், கரிம மாசுபடுத்திகளை அகற்றவும், மை ஒட்டுதலை மேம்படுத்தவும், பின்ஹோல் குறைபாடுகளைக் குறைக்கவும் பலகை மேற்பரப்பு பிளாஸ்மா கிளீனருடன் சிகிச்சையளிக்கப்படுகிறது.
உபகரணங்கள் மற்றும் பொருட்களின் தூய்மை கட்டுப்பாடு. டிரான்ஸ்மிஷன் கருவிகளின் உருளைகள் ஒவ்வொரு 8 மணி நேரத்திற்கும் ஐசோபிரைல் ஆல்கஹால் மூலம் துடைக்கப்பட வேண்டும். மூலப்பொருட்கள் வெற்றிட பேக்கேஜிங்கில் சேமிக்கப்படுகின்றன, மேலும் ஈரப்பதம் உறிஞ்சுதலைத் தவிர்ப்பதற்காக திறக்கப்பட்ட 2 மணி நேரத்திற்குள் உற்பத்தியில் வைக்கப்பட வேண்டும். தூய்மையற்ற உள்ளடக்கத்தை ≤0.1%ஆக கட்டுப்படுத்த டெவலப்பர் மற்றும் பொறித்தல் தீர்வு போன்ற ரசாயனங்கள் வடிகட்டப்பட்டு சுத்திகரிக்கப்பட வேண்டும்.
முழு செயல்முறை ஆய்வு மற்றும் கட்டுப்பாடு. ஒவ்வொரு தொகுதி தயாரிப்புகளும் லேசர் துகள் கவுண்டரால் மேற்பரப்பு தூய்மைக்கு சோதிக்கப்படுகின்றன, மேலும் ஐபிசி-ஏ -600 ஜி தரத்துடன் இணங்குவதை உறுதி செய்வதற்காக கம்பிகளுக்கு இடையில் எச்சத்தை சரிபார்க்க ஒரு நுண்ணோக்கி (உருப்பெருக்கம் 500 முறை) பயன்படுத்தப்படுகிறது. இந்த துப்புரவு கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு மூலம், திஅச்சிடப்பட்ட சர்க்யூட் போர்டு குறைபாடு வீதத்தை 0.3%க்கும் குறைவாகக் குறைக்கலாம், இது மின்னணு உபகரணங்களின் நிலையான செயல்பாட்டிற்கான அடித்தளத்தை வகுக்கிறது.
